半導体製造プロセスにおける検査データ解析手法の研究

半導体製造プロセスにおける検査データ解析手法の研究

Call No. (NDL): UT51-2010-N216
Bibliographic ID of National Diet Library: 000011103333

Material type: 博士論文

Author: 小野眞 [著]

Publisher: [小野眞]

Publication date: [2010]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 北海道大学,博士 (情報科学)

Notes on use

Note (General)：: 博士論文

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 半導体製造プロセスにおける検査データ解析手法の研究
Title Transcription: ハンドウタイセイゾウプロセスニオケルケンサデータカイセキシュホウノケンキュウ
Author/Editor: 小野眞 [著]
Author Heading: 小野, 眞オノ, マコト
Publication, Distribution, etc.: [小野眞]
Publication Date: [2010]
Publication Date (W3CDTF): 2010
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 北海道大学
Date Granted: 平成22年9月24日
Date Granted (W3CDTF): 2010
Dissertation Number: 甲第9715号
Degree Type: 博士 (情報科学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2010-N216
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000011103333
http://id.ndl.go.jp/bib/000011103333
Bibliographic Record Category (NDL): 213