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Bibliographic Record
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- Material Type
- 博士論文
- Author/Editor
- William Makoto Nakamura [著]
- Author Heading
- 中村ウィリアム誠 ナカムラ ウィリアム マコト
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- [2010]
- Publication Date (W3CDTF)
- 2010
- Extent
- 1冊
- Alternative Title
- クラスタ制御プラズマ化学堆積による高安定a-Si:H薄膜の高速堆積 クラスタ セイギョ プラズマ カガク タイセキ ニ ヨル コウアンテイ a-Si:H ハクマク ノ コウソク タイセキ
- Degree grantor/type
- 九州大学