半導体製造装置の振動制御に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: 半導体製造装置の振動制御に関する研究
Title Transcription: ハンドウタイセイゾウソウチノシンドウセイギョニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 高橋正人 [著]
Author Heading: 高橋, 正人タカハシ, マサト
Publication, Distribution, etc.: [高橋正人]
Publication Date: [2010]
Publication Date (W3CDTF): 2010
Extent: 1冊
Alternative Title: A study on the vibration control for semiconductor manufacturing machine
Degree grantor/type: 東京農工大学
Date Granted: 平成22年9月15日
Date Granted (W3CDTF): 2010
Dissertation Number: 甲第700号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2010-R721
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000011160169
http://id.ndl.go.jp/bib/000011160169
Bibliographic Record Category (NDL): 213