ECRスパッタ法による結晶性カーボン薄膜の微視的構造と耐熱性に関する研究

ECRスパッタ法による結晶性カーボン薄膜の微視的構造と耐熱性に関する研究

Call No. (NDL): UT51-2011-B946
Bibliographic ID of National Diet Library: 000011214184

Material type: 博士論文

Author: 鎌田智之 [著]

Publisher: [鎌田智之]

Publication date: [2011]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 千葉工業大学,博士 (工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: ECRスパッタ法による結晶性カーボン薄膜の微視的構造と耐熱性に関する研究
Title Transcription: ECR スパッタホウニヨルケッショウセイカーボンハクマクノビシテキコウゾウトタイネツセイニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 鎌田智之 [著]
Author Heading: 鎌田, 智之カマタ, トモユキ
Publication, Distribution, etc.: [鎌田智之]
Publication Date: [2011]
Publication Date (W3CDTF): 2011
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 千葉工業大学
Date Granted: 平成23年3月22日
Date Granted (W3CDTF): 2011
Dissertation Number: 甲第160号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2011-B946
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000011214184
http://id.ndl.go.jp/bib/000011214184
Bibliographic Record Category (NDL): 213