半導体露光装置用ステージ変位センサに関する研究 : ねじ駆動ステージ制御の最適化と高安定度エンコーダの開発

• Material Type: 博士論文
• Title: 半導体露光装置用ステージ変位センサに関する研究 : ねじ駆動ステージ制御の最適化と高安定度エンコーダの開発
• Title Transcription: ハンドウタイ ロコウ ソウチヨウ ステージ ヘンイ センサ ニ カンスル ケンキュウ : ネジ クドウ ステージ セイギョ ノ サイテキカ ト コウアンテイド エンコーダ ノ カイハツ
• Author/Editor: 牧野内進 [著]
• Author Heading: 牧野内, 進 マキノウチ, ススム
• Publication, Distribution, etc.: [牧野内進]
• Publication Date: [2011]
• Publication Date (W3CDTF): 2011
• Extent: 1冊
• Alternative Title: A study on the stage positioning sensor for semiconductor exposure machine
• Degree grantor/type: 東京農工大学
• Date Granted: 平成23年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 2011
• Dissertation Number: 甲第738号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2011-H337
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000011295511; http://id.ndl.go.jp/bib/000011295511
• Bibliographic Record Category (NDL): 213