高性能プラズマ源の材料プロセスへの応用に関する実験的研究

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Material Type: 博士論文
Title: 高性能プラズマ源の材料プロセスへの応用に関する実験的研究
Title Transcription: コウセイノウプラズマゲンノザイリョウプロセスエノオウヨウニカンスルジッケンテキケンキュウ
Author/Editor: 早川雅浩 [著]
Author Heading: 早川, 雅浩ハヤカワ, マサヒロ
Publication, Distribution, etc.: [早川雅浩]
Publication Date: [2011]
Publication Date (W3CDTF): 2011
Extent: 1冊
Alternative Title: Experimental study on applications of high quality plasma sources to materials processing
Degree grantor/type: 中部大学
Date Granted: 平成23年3月23日
Date Granted (W3CDTF): 2011
Dissertation Number: 甲第84号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2011-H817
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000011299780
http://id.ndl.go.jp/bib/000011299780
Bibliographic Record Category (NDL): 213