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- Material Type
- 博士論文
- Title Transcription
- MOCVDヨウ ルテニウム サクタイ ノ カイハツ オヨビ ハクマク サクセイ ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 河野和久 [著]
- Author Heading
- 河野, 和久 カワノ, カズヒサ
- Publication, Distribution, etc.
- Publication Date
- [2010]
- Publication Date (W3CDTF)
- 2010
- Extent
- 1冊
- Degree grantor/type
- 東京工業大学