ナノインデンテーション法を用いた薄膜基板間の界面強度評価

ナノインデンテーション法を用いた薄膜基板間の界面強度評価

Call No. (NDL): UT51-2011-K214
Bibliographic ID of National Diet Library: 023314298

Material type: 博士論文

Author: 上月謙太郎 [著]

Publisher: [上月謙太郎]

Publication date: [2010]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 東京工業大学,博士 (工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: ナノインデンテーション法を用いた薄膜基板間の界面強度評価
Title Transcription: ナノインデンテーションホウオモチイタハクマクキバンカンノカイメンキョウドヒョウカ
Author/Editor: 上月謙太郎 [著]
Author Heading: 上月, 謙太郎コウズキ, ケンタロウ
Publication, Distribution, etc.: [上月謙太郎]
Publication Date: [2010]
Publication Date (W3CDTF): 2010
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 東京工業大学
Date Granted: 平成22年3月26日
Date Granted (W3CDTF): 2010
Dissertation Number: 甲第7948号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2011-K214
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 023314298
http://id.ndl.go.jp/bib/023314298
Bibliographic Record Category (NDL): 213