光反応性単分子膜を用いた熱ナノインプリントリソグラフィ

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Material Type: 博士論文
Title: 光反応性単分子膜を用いた熱ナノインプリントリソグラフィ
Title Transcription: ヒカリハンノウセイタンブンシマクオモチイタネツナノインプリントリソグラフィ
Author/Editor: 小田博和 [著]
Author Heading: 小田, 博和オダ, ヒロカズ
Publication, Distribution, etc.: [小田博和]
Publication Date: [2010]
Publication Date (W3CDTF): 2010
Extent: 1冊
Alternative Title: Thermal nanoimprint lithography with a photo-reactive monolayer
Degree grantor/type: 東京工業大学
Date Granted: 平成22年3月26日
Date Granted (W3CDTF): 2010
Dissertation Number: 甲第8003号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2011-K269
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 023314802
http://id.ndl.go.jp/bib/023314802
Bibliographic Record Category (NDL): 213