プラズマその場観察によるプロセスコントロールに関する研究

プラズマその場観察によるプロセスコントロールに関する研究

Call No. (NDL): UT51-2011-L376
Bibliographic ID of National Diet Library: 023341850

Material type: 博士論文

Author: 佐藤充男 [著]

Publisher: [佐藤充男]

Publication date: [2011]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 東北大学,博士 (工学)

Notes on use

Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: プラズマその場観察によるプロセスコントロールに関する研究
Title Transcription: プラズマソノバカンサツニヨルプロセスコントロールニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 佐藤充男 [著]
Author Heading: 佐藤, 充男サトウ, ミチオ
Publication, Distribution, etc.: [佐藤充男]
Publication Date: [2011]
Publication Date (W3CDTF): 2011
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 東北大学
Date Granted: 平成23年3月25日
Date Granted (W3CDTF): 2011
Dissertation Number: 甲第14004号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2011-L376
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 023341850
http://id.ndl.go.jp/bib/023341850
Bibliographic Record Category (NDL): 213