超低損傷表面改質による高性能半導体デバイスの開発に関する研究

超低損傷表面改質による高性能半導体デバイスの開発に関する研究

Call No. (NDL): UT51-2011-L384
Bibliographic ID of National Diet Library: 023341964

Material type: 博士論文

Author: 和田章良 [著]

Publisher: [和田章良]

Publication date: [2011]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 東北大学,博士 (工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 超低損傷表面改質による高性能半導体デバイスの開発に関する研究
Title Transcription: チョウテイソンショウヒョウメンカイシツニヨルコウセイノウハンドウタイデバイスノカイハツニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 和田章良 [著]
Author Heading: 和田, 章良ワダ, アキラ
Publication, Distribution, etc.: [和田章良]
Publication Date: [2011]
Publication Date (W3CDTF): 2011
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 東北大学
Date Granted: 平成23年3月25日
Date Granted (W3CDTF): 2011
Dissertation Number: 甲第14012号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2011-L384
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 023341964
http://id.ndl.go.jp/bib/023341964
Bibliographic Record Category (NDL): 213