薄膜の常温接合による3次元微細加工技術の開発とオーバーレイ誤差の要因解析

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Material Type: 博士論文
Title: 薄膜の常温接合による3次元微細加工技術の開発とオーバーレイ誤差の要因解析
Title Transcription: ハクマクノジョウオンセツゴウニヨル 3ジゲンビサイカコウギジュツノカイハツトオーバーレイゴサノヨウインカイセキ
Author/Editor: 山田高幸 [著]
Author Heading: 山田, 高幸ヤマダ, タカユキ
Publication, Distribution, etc.: [山田高幸]
Publication Date: [2011]
Publication Date (W3CDTF): 2011
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 慶應義塾大学
Date Granted: 平成23年8月30日
Date Granted (W3CDTF): 2011
Dissertation Number: 甲第3546号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2011-L634
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 023346935
http://id.ndl.go.jp/bib/023346935
Bibliographic Record Category (NDL): 213