微小角入射X線小角散乱による薄膜表面および薄膜に埋もれたナノ構造の評価に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: 微小角入射X線小角散乱による薄膜表面および薄膜に埋もれたナノ構造の評価に関する研究
Title Transcription: ビショウカクニュウシャ Xセンショウカクサンランニヨルハクマクヒョウメンオヨビハクマクニウモレタナノコウゾウノヒョウカニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 伊藤義泰 [著]
Author Heading: 伊藤, 義泰イトウ, ヨシヤス
Publication, Distribution, etc.: [伊藤義泰]
Publication Date: [2009]
Publication Date (W3CDTF): 2009
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 九州工業大学
Date Granted: 平成21年3月25日
Date Granted (W3CDTF): 2009
Dissertation Number: 甲第284号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2011-L715
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 023349420
http://id.ndl.go.jp/bib/023349420
Bibliographic Record Category (NDL): 213