先進的半導体露光技術のための高平均出力レーザに関する研究

先進的半導体露光技術のための高平均出力レーザに関する研究

Call No. (NDL): UT51-2011-Q711
Bibliographic ID of National Diet Library: 023533196

Material type: 博士論文

Author: 斎藤隆志 [著]

Publisher: [斎藤隆志]

Publication date: [2010]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 東京工業大学,博士 (工学)

Notes on use

Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 先進的半導体露光技術のための高平均出力レーザに関する研究
Title Transcription: センシンテキハンドウタイロコウギジュツノタメノコウヘイキンシュツリョクレーザニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 斎藤隆志 [著]
Author Heading: 斎藤, 隆志サイトウ, タカシ
Publication, Distribution, etc.: [斎藤隆志]
Publication Date: [2010]
Publication Date (W3CDTF): 2010
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 東京工業大学
Date Granted: 平成22年9月25日
Date Granted (W3CDTF): 2010
Dissertation Number: 甲第8199号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2011-Q711
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 023533196
http://id.ndl.go.jp/bib/023533196
Bibliographic Record Category (NDL): 213