Study on atomic-scale surface patterning of glass substrates for functional oxide thin films by thermal nanoimprint

• Material Type: 博士論文
• Title: Study on atomic-scale surface patterning of glass substrates for functional oxide thin films by thermal nanoimprint
• Author/Editor: Yasuyuki Akita [著]
• Author Heading: 秋田, 泰志 アキタ, ヤスユキ
• Publication, Distribution, etc.: [Yasuyuki Akita]
• Publication Date: [2011]
• Publication Date (W3CDTF): 2011
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 機能性酸化物薄膜の作製に向けた熱ナノインプリント法によるガラス基板表面の原子スケールパターニングに関する研究 キノウセイ サンカブツ ハクマク ノ サクセイ ニ ムケタ ネツ ナノインプリントホウ ニ ヨル ガラス キバン ヒョウメン ノ ゲンシ スケール パターニング ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 東京工業大学
• Date Granted: 平成23年3月26日
• Date Granted (W3CDTF): 2011
• Dissertation Number: 甲第8367号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2011-Q877
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 023539003; http://id.ndl.go.jp/bib/023539003
• Bibliographic Record Category (NDL): 213