3次元構造トランジスタのためのTiN金属ゲートに関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: 3次元構造トランジスタのためのTiN金属ゲートに関する研究
Title Transcription: 3ジゲンコウゾウトランジスタノタメノ TiN キンゾクゲートニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 林田哲郎 [著]
Author Heading: 林田, 哲郎ハヤシダ, テツロウ
Publication, Distribution, etc.: [林田哲郎]
Publication Date: [2012]
Publication Date (W3CDTF): 2012
Extent: 1冊
Alternative Title: Study on the TiN-metal-gate technologies for three-dimensional transistor
Degree grantor/type: 明治大学
Date Granted: 平成24年3月26日
Date Granted (W3CDTF): 2012
Dissertation Number: 甲第615号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2012-B28
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 023729659
http://id.ndl.go.jp/bib/023729659
Bibliographic Record Category (NDL): 213