触媒表面を基準面とする化学研磨法による4H-SiC基板の高精度平坦化加工に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: 触媒表面を基準面とする化学研磨法による4H-SiC基板の高精度平坦化加工に関する研究
Title Transcription: ショクバイヒョウメンオキジュンメントスルカガクケンマホウニヨル 4H-SiC キバンノコウセイドヘイタンカカコウニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 岡本武志 [著]
Author Heading: 岡本, 武志オカモト, タケシ
Publication, Distribution, etc.: [岡本武志]
Publication Date: [2012]
Publication Date (W3CDTF): 2012
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 大阪大学
Date Granted: 平成24年3月22日
Date Granted (W3CDTF): 2012
Dissertation Number: 甲第15747号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2012-C717
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 023774909
http://id.ndl.go.jp/bib/023774909
Bibliographic Record Category (NDL): 213