Fabrication and evaluation of transistors with discrete-dopant array using single-ion implantation

• Material Type: 博士論文
• Title: Fabrication and evaluation of transistors with discrete-dopant array using single-ion implantation
• Author/Editor: Masahiro Hori [著]
• Author Heading: 堀, 匡寛 ホリ, マサヒロ
• Publication, Distribution, etc.: [Masahiro Hori]
• Publication Date: [2012]
• Publication Date (W3CDTF): 2012
• Extent: 1冊
• Alternative Title: シングルイオン注入法を用いた離散的ドーパントアレイを有するトランジスタの作製と評価に関する研究 シングル イオン チュウニュウホウ オ モチイタ リサンテキ ドーパント アレイ オ ユウスル トランジスタ ノ サクセイ ト ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
• Degree grantor/type: 早稲田大学
• Date Granted: 平成24年3月15日
• Date Granted (W3CDTF): 2012
• Dissertation Number: 甲第3592号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2012-D800
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 023810334; http://id.ndl.go.jp/bib/023810334
• Bibliographic Record Category (NDL): 213