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博士論文

大規模集積回路用絶縁膜のプラズマによる低温成長技術に関する研究

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大規模集積回路用絶縁膜のプラズマによる低温成長技術に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2012-E858
Bibliographic ID of National Diet Library
023851696
Material type
博士論文
Author
村田龍紀 [著]
Publisher
[村田龍紀]
Date granted
平成24年3月24日
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Degree grantor and degree
東海大学,博士 (工学)
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Note (General):

博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
ダイキボ シュウセキ カイロヨウ ゼツエンマク ノ プラズマ ニ ヨル テイオン セイチョウ ギジュツ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
村田龍紀 [著]
Author Heading
村田, 龍紀 ムラタ, タツノリ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
[2012]
Publication Date (W3CDTF)
2012
Extent
1冊
Degree Grantor
東海大学
Date Granted
平成24年3月24日
Date Granted (W3CDTF)
2012
Dissertation Number
乙第657号
Degree Type
博士 (工学)
Note (Dissertation)
博士論文
Place of Publication (Country Code)
JP
Text Language Code
jpn
NDLC
Target Audience
一般
Note (General)
博士論文
Holding library
国立国会図書館
Call No.
UT51-2012-E858
Data Provider (Database)
国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
Bibliographic ID (NDL)
023851696
Bibliographic Record Category (NDL)
213