博士論文

次世代半導体デバイスおよびガラス基板上での微細配線形成プロセスの構築

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次世代半導体デバイスおよびガラス基板上での微細配線形成プロセスの構築

Call No. (NDL)
UT51-2012-F251
Bibliographic ID of National Diet Library
023889842
Material type
博士論文
Author
有村英俊 [著]
Publisher
[有村英俊]
Publication date
[2012]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
甲南大学,博士 (理学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title
次世代半導体デバイスおよびガラス基板上での微細配線形成プロセスの構築
Title Transcription
ジセダイ ハンドウタイ デバイス オヨビ ガラス キバンジョウ デ ノ ビサイ ハイセン ケイセイ プロセス ノ コウチク
Author/Editor
有村英俊 [著]
Author Heading
有村, 英俊 アリムラ, ヒデトシ
Publication, Distribution, etc.
[有村英俊]
Publication Date
[2012]
Publication Date (W3CDTF)
2012
Extent
1冊
Degree grantor/type
甲南大学