走査型電子ビーム・レーザビーム誘起電流法を用いた半導体デバイス評価に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: 走査型電子ビーム・レーザビーム誘起電流法を用いた半導体デバイス評価に関する研究
Title Transcription: ソウサガタデンシビームレーザビームユウキデンリュウホウオモチイタハンドウタイデバイスヒョウカニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 末吉晴樹 [著]
Author Heading: 末吉, 晴樹スエヨシ, ハルキ
Publication, Distribution, etc.: [末吉晴樹]
Publication Date: [2010]
Publication Date (W3CDTF): 2010
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 福岡大学
Date Granted: 平成22年3月23日
Date Granted (W3CDTF): 2010
Dissertation Number: 甲第1284号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2012-F296
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 023891807
http://id.ndl.go.jp/bib/023891807
Bibliographic Record Category (NDL): 213