光音響法を用いた半導体表面近傍の評価に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 光音響法を用いた半導体表面近傍の評価に関する研究
• Title Transcription: ヒカリ オンキョウホウ オ モチイタ ハンドウタイ ヒョウメン キンボウ ノ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 村上雅彦 [著]
• Author Heading: 村上, 雅彦 ムラカミ, マサヒコ
• Publication, Distribution, etc.: [村上雅彦]
• Publication Date: [2012]
• Publication Date (W3CDTF): 2012
• Extent: 1冊
• Accompanying material: 要旨 1冊
• Alternative Title: Studies on evaluation in near surface of semiconductor using photoacoustic method
• Degree grantor/type: 神奈川工科大学
• Date Granted: 平成24年3月24日
• Date Granted (W3CDTF): 2012
• Dissertation Number: 甲第24号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2012-F523
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 023900327; http://id.ndl.go.jp/bib/023900327
• Bibliographic Record Category (NDL): 213