微量添加元素による銅配線材料の界面反応と機械的特性に関する研究

微量添加元素による銅配線材料の界面反応と機械的特性に関する研究

Call No. (NDL): UT51-2012-F821
Bibliographic ID of National Diet Library: 023901314

Material type: 博士論文

Author: 森曉 [著]

Publisher: [森曉]

Publication date: [2012]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 長岡技術科学大学,博士 (工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 微量添加元素による銅配線材料の界面反応と機械的特性に関する研究
Title Transcription: ビリョウテンカゲンソニヨルドウハイセンザイリョウノカイメンハンノウトキカイテキトクセイニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 森曉 [著]
Author Heading: 森, 曉モリ, サトル
Publication, Distribution, etc.: [森曉]
Publication Date: [2012]
Publication Date (W3CDTF): 2012
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 長岡技術科学大学
Date Granted: 平成24年3月26日
Date Granted (W3CDTF): 2012
Dissertation Number: 甲第614号
Degree Type: 博士 (工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2012-F821
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 023901314
http://id.ndl.go.jp/bib/023901314
Bibliographic Record Category (NDL): 213