塩素ガス熱エッチング法を用いた4H型炭化ケイ素の微細加工とそれを活用した超低損失電力制御素子への応用

• Material Type: 博士論文
• Title: 塩素ガス熱エッチング法を用いた4H型炭化ケイ素の微細加工とそれを活用した超低損失電力制御素子への応用
• Title Transcription: エンソ ガス ネツ エッチングホウ オ モチイタ 4Hガタ タンカ ケイソ ノ ビサイ カコウ ト ソレ オ カツヨウシタ チョウ テイソンシツ デンリョク セイギョ ソシ エ ノ オウヨウ
• Author/Editor: 纐纈英典 [著]
• Author Heading: 纐纈, 英典 コウケツ, ヒデノリ
• Publication, Distribution, etc.: [纐纈英典]
• Publication Date: [2012]
• Publication Date (W3CDTF): 2012
• Extent: 1冊
• Degree grantor/type: 奈良先端科学技術大学院大学
• Date Granted: 平成24年3月23日
• Date Granted (W3CDTF): 2012
• Dissertation Number: 甲第1069号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2012-G133
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 023905126; http://id.ndl.go.jp/bib/023905126
• Bibliographic Record Category (NDL): 213