半導体パターン計測の高精度化のためのSEM画像解析に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: 半導体パターン計測の高精度化のためのSEM画像解析に関する研究
• Title Transcription: ハンドウタイ パターン ケイソク ノ コウセイドカ ノ タメ ノ SEM ガゾウ カイセキ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 宍戸千絵 [著]
• Author Heading: 宍戸, 千絵 シシド, チエ
• Publication, Distribution, etc.: [宍戸千絵]
• Publication Date: [2012]
• Publication Date (W3CDTF): 2012
• Extent: 1冊
• Accompanying material: 要旨 1枚
• Alternative Title: Research on the scanning electron microscopy image analysis for realizing highly accurate measurement of semiconductor pattern
• Degree grantor/type: 横浜国立大学
• Date Granted: 平成24年3月23日
• Date Granted (W3CDTF): 2012
• Dissertation Number: 甲第1474号
• Degree Type: 博士 (工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2012-G208
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 023907767; http://id.ndl.go.jp/bib/023907767
• Bibliographic Record Category (NDL): 213