博士論文

Interface engineering of hafnium-based high-K dielectrics and germanium channel

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Interface engineering of hafnium-based high-K dielectrics and germanium channel

Call No. (NDL)
UT51-2012-G261
Bibliographic ID of National Diet Library
023910000
Material type
博士論文
Author
Yusuke Oniki [著]
Publisher
[Yusuke Oniki]
Publication date
[2012]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
東京農工大学,博士 (工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Author/Editor
Yusuke Oniki [著]
Author Heading
鬼木, 悠丞 オニキ, ユウスケ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
[2012]
Publication Date (W3CDTF)
2012
Extent
1冊
Alternative Title
ハフニウム系高誘電率ゲート絶縁膜とゲルマニウムチャネルの界面制御に関する研究 ハフニウムケイ コウユウデンリツ ゲート ゼツエンマク ト ゲルマニウム チャネル ノ カイメン セイギョ ニ カンスル ケンキュウ
Degree grantor/type
東京農工大学