博士論文

誘導結合型Ar,O₂/ArプラズマのE-H遷移過程の時空間分解分光診断

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誘導結合型Ar,O₂/ArプラズマのE-H遷移過程の時空間分解分光診断

Call No. (NDL)
UT51-2012-K802
Bibliographic ID of National Diet Library
024078523
Material type
博士論文
Author
林雄一郎 [著]
Publisher
[林雄一郎]
Publication date
[2012]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
慶應義塾大学,博士(工学)
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博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
ユウドウ ケツゴウガタ Ar , O₂/Ar プラズマ ノ E-H センイ カテイ ノ ジクウカン ブンカイ ブンコウ シンダン
Author/Editor
林雄一郎 [著]
Author Heading
林, 雄一郎 ハヤシ, ユウイチロウ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
[2012]
Publication Date (W3CDTF)
2012
Extent
1冊
Degree grantor/type
慶應義塾大学