高温アニールによるSiCエッチング形状の変形と変形メカニズムに関する研究

高温アニールによるSiCエッチング形状の変形と変形メカニズムに関する研究

Call No. (NDL): UT51-2012-L43
Bibliographic ID of National Diet Library: 024158676

Material type: 博士論文

Author: 河田泰之 [著]

Publisher: [河田泰之]

Publication date: [2011]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 筑波大学,博士(工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 高温アニールによるSiCエッチング形状の変形と変形メカニズムに関する研究
Title Transcription: コウオンアニールニヨル SiC エッチングケイジョウノヘンケイトヘンケイメカニズムニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 河田泰之 [著]
Author Heading: 河田, 泰之カワダ, ヤスユキ
Publication, Distribution, etc.: [河田泰之]
Publication Date: [2011]
Publication Date (W3CDTF): 2011
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 筑波大学
Date Granted: 平成23年9月30日
Date Granted (W3CDTF): 2011
Dissertation Number: 甲第5918号
Degree Type: 博士(工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2012-L43
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 024158676
http://id.ndl.go.jp/bib/024158676
Bibliographic Record Category (NDL): 213