半導体関連製品の製造プロセスにおける最適化に関する研究

半導体関連製品の製造プロセスにおける最適化に関する研究

Call No. (NDL): UT51-2012-M261
Bibliographic ID of National Diet Library: 024190559

Material type: 博士論文

Author: 中川泰忠 [著]

Publisher: [中川泰忠]

Publication date: [2012]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 大阪府立大学,博士(工学)

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Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: 半導体関連製品の製造プロセスにおける最適化に関する研究
Title Transcription: ハンドウタイカンレンセイヒンノセイゾウプロセスニオケルサイテキカニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 中川泰忠 [著]
Author Heading: 中川, 泰忠ナカガワ, ヤスタダ
Publication, Distribution, etc.: [中川泰忠]
Publication Date: [2012]
Publication Date (W3CDTF): 2012
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 大阪府立大学
Date Granted: 平成24年9月30日
Date Granted (W3CDTF): 2012
Dissertation Number: 甲第1387号
Degree Type: 博士(工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2012-M261
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 024190559
http://id.ndl.go.jp/bib/024190559
Bibliographic Record Category (NDL): 213