表面間力の定量的評価に基づくスティクション防止膜に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: 表面間力の定量的評価に基づくスティクション防止膜に関する研究
Title Transcription: ヒョウメンカンリョクノテイリョウテキヒョウカニモトズクスティクションボウシマクニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 山下崇博 [著]
Author Heading: 山下, 崇博ヤマシタ, タカヒロ
Publication, Distribution, etc.: [山下崇博]
Publication Date: [2012]
Publication Date (W3CDTF): 2012
Extent: 1冊
Alternative Title: Investigation of anti-stiction coatings based on quantitative evaluation of adhesion forces
Degree Grantor: 東京大学
Date Granted: 平成24年3月12日
Date Granted (W3CDTF): 2012
Dissertation Number: 甲第27695号
Degree Type: 博士(工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2012-M698
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 024203195
http://id.ndl.go.jp/bib/024203195
Bibliographic Record Category (NDL): 213