Numerical analysis on discharging characteristics in microwave-excited surface wave plasma apparatus with self-consistent simulation method

• Material Type: 博士論文
• Title: Numerical analysis on discharging characteristics in microwave-excited surface wave plasma apparatus with self-consistent simulation method
• Author/Editor: 金東珉 [著]
• Author Heading: 金, 東珉 キム, ドンミン
• Publication, Distribution, etc.: [金東珉]
• Publication Date: [2012]
• Publication Date (W3CDTF): 2012
• Extent: 1冊
• Alternative Title: セルフコンシステントシミュレーションによるマイクロ波励起表面波プラズマ装置の放電特性解析 セルフ コンシステント シミュレーション ニ ヨル マイクロハ レイキ ヒョウメンハ プラズマ ソウチ ノ ホウデン トクセイ カイセキ
• Degree grantor/type: 東京大学
• Date Granted: 平成24年3月22日
• Date Granted (W3CDTF): 2012
• Dissertation Number: 甲第28395号
• Degree Type: 博士(科学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• Alias of Author: Kim, Dongmin
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2012-N401
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 024240755; http://id.ndl.go.jp/bib/024240755
• Bibliographic Record Category (NDL): 213