Plasma dynamics in a 13.5 nm laser-assisted discharge plasma extreme ultraviolet source

• Material Type: 博士論文
• Title: Plasma dynamics in a 13.5 nm laser-assisted discharge plasma extreme ultraviolet source
• Author/Editor: Qiushi Zhu [著]
• Author Heading: 朱, 秋石 ズ, キュシ
• Publication, Distribution, etc.: [Qiushi Zhu]
• Publication Date: [2012]
• Publication Date (W3CDTF): 2012
• Extent: 1冊
• Alternative Title: レーザアシスト型放電生成プラズマ方式による13.5nm極端紫外光源のプラズマ動力学 レーザ アシストガタ ホウデン セイセイ プラズマ ホウシキ ニ ヨル 13.5nm キョクタン シガイ コウゲン ノ プラズマ ドウリキガク
• Degree grantor/type: 東京工業大学
• Date Granted: 平成24年3月26日
• Date Granted (W3CDTF): 2012
• Dissertation Number: 甲第8839号
• Degree Type: 博士(学術)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2012-Q212
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 024377422; http://id.ndl.go.jp/bib/024377422
• Bibliographic Record Category (NDL): 213