Development of negative-type photoresists for microelectronic devices

• Material Type: 博士論文
• Title: Development of negative-type photoresists for microelectronic devices
• Author/Editor: Yuta Saito [著]
• Author Heading: 齋藤, 悠太 サイトウ, ユウタ
• Publication, Distribution, etc.: [Yuta Saito]
• Publication Date: [2012]
• Publication Date (W3CDTF): 2012
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 電子デバイス用ネガ型感光性材料の開発 デンシ デバイスヨウ ネガガタ カンコウセイ ザイリョウ ノ カイハツ
• Degree grantor/type: 東京工業大学
• Date Granted: 平成24年3月26日
• Date Granted (W3CDTF): 2012
• Dissertation Number: 甲第8664号
• Degree Type: 博士(工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2012-Q38
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 024377477; http://id.ndl.go.jp/bib/024377477
• Bibliographic Record Category (NDL): 213