電子ビーム露光装置/極紫外線露光装置対応高精度位置決めステージの研究

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Material Type: 博士論文
Title: 電子ビーム露光装置/極紫外線露光装置対応高精度位置決めステージの研究
Title Transcription: デンシビームロコウソウチ / キョクシガイセンロコウソウチタイオウコウセイドイチギメステージノケンキュウ
Author/Editor: 田中慶一 [著]
Author Heading: 田中, 慶一タナカ, ケイイチ
Publication, Distribution, etc.: [田中慶一]
Publication Date: [2012]
Publication Date (W3CDTF): 2012
Extent: 1冊
Alternative Title: A study on ultraprecision positioning stage for electron beam and extreme ultraviolet lithography tool
Degree grantor/type: 東京工業大学
Date Granted: 平成24年3月31日
Date Granted (W3CDTF): 2012
Dissertation Number: 乙第4066号
Degree Type: 博士(工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2012-Q242
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 024377675
http://id.ndl.go.jp/bib/024377675
Bibliographic Record Category (NDL): 213