LSIにおける最先端Cu配線へ適用可能なナノ結晶バリヤ膜の作製方法に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: LSIにおける最先端Cu配線へ適用可能なナノ結晶バリヤ膜の作製方法に関する研究
Title Transcription: LSI ニオケルサイセンタン Cu ハイセンエテキヨウカノウナナノケッショウバリヤマクノサクセイホウホウニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 佐藤勝 [著]
Author Heading: 佐藤, 勝サトウ, マサル
Publication, Distribution, etc.: [佐藤勝]
Publication Date: [2012]
Publication Date (W3CDTF): 2012
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 北見工業大学
Date Granted: 平成24年3月21日
Date Granted (W3CDTF): 2012
Dissertation Number: 甲第115号
Degree Type: 博士(工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2012-R44
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 024444435
http://id.ndl.go.jp/bib/024444435
Bibliographic Record Category (NDL): 213