重水素添加スパッタリング法を用いた低温製膜ITOの格子欠陥と電子物性に関する研究

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Material Type: 博士論文
Title: 重水素添加スパッタリング法を用いた低温製膜ITOの格子欠陥と電子物性に関する研究
Title Transcription: ジュウスイソテンカスパッタリングホウオモチイタテイオンセイマク ITO ノコウシケッカントデンシブッセイニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 羅蘇寧 [著]
Author Heading: 羅, 蘇寧ラ, ソネイ
Publication, Distribution, etc.: [羅蘇寧]
Publication Date: [2011]
Publication Date (W3CDTF): 2011
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 九州工業大学
Date Granted: 平成23年3月25日
Date Granted (W3CDTF): 2011
Dissertation Number: 工博乙第94号
Degree Type: 博士(工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2012-R254
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 024444857
http://id.ndl.go.jp/bib/024444857
Bibliographic Record Category (NDL): 213