Fabrication of IDT/AlN/DLC/Si structured SAW device by pulsed laser deposition

• Material Type: 博士論文
• Title: Fabrication of IDT/AlN/DLC/Si structured SAW device by pulsed laser deposition
• Author/Editor: Zhiping Wang [著]
• Author Heading: 王, 植平 オウ, ショクヘイ
• Publication, Distribution, etc.: [Zhiping Wang]
• Publication Date: [2012]
• Publication Date (W3CDTF): 2012
• Extent: 1冊
• Alternative Title: パルスレーザーデポジションによるIDT/AlN/DLC/Si構造の表面弾性波素子の作製 パルス レーザー デポジション ニ ヨル IDT/AlN/DLC/Si コウゾウ ノ ヒョウメン ダンセイハ ソシ ノ サクセイ
• Degree grantor/type: 富山大学
• Date Granted: 平成24年3月23日
• Date Granted (W3CDTF): 2012
• Dissertation Number: 理工博甲第41号
• Degree Type: 博士(工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2012-R292
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 024456545; http://id.ndl.go.jp/bib/024456545
• Bibliographic Record Category (NDL): 213