高性能薄膜トランジスタの実用化をめざした大粒径シリコン薄膜作製手法の研究

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Material Type: 博士論文
Title: 高性能薄膜トランジスタの実用化をめざした大粒径シリコン薄膜作製手法の研究
Title Transcription: コウセイノウハクマクトランジスタノジツヨウカオメザシタダイリュウケイシリコンハクマクサクセイシュホウノケンキュウ
Author/Editor: 平松雅人 [著]
Author Heading: 平松, 雅人ヒラマツ, マサト
Publication, Distribution, etc.: [平松雅人]
Publication Date: [2012]
Publication Date (W3CDTF): 2012
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 奈良先端科学技術大学院大学
Date Granted: 平成24年12月21日
Date Granted (W3CDTF): 2012
Dissertation Number: 甲第1100号
Degree Type: 博士(工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2012-R892
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 024471200
http://id.ndl.go.jp/bib/024471200
Bibliographic Record Category (NDL): 213