ラマン分光法を用いた電界効果トランジスタの微細チャネル域ひずみ評価に関する研究

• Material Type: 博士論文
• Title: ラマン分光法を用いた電界効果トランジスタの微細チャネル域ひずみ評価に関する研究
• Title Transcription: ラマン ブンコウホウ オ モチイタ デンカイ コウカ トランジスタ ノ ビサイ チャネルイキ ヒズミ ヒョウカ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 武井宗久 [著]
• Author Heading: 武井, 宗久 タケイ, ムネヒサ
• Publication, Distribution, etc.: [武井宗久]
• Publication Date: [2013]
• Publication Date (W3CDTF): 2013
• Extent: 1冊
• Alternative Title: Investigation of strain in fine channel region of field-effect-transistor by Raman spectroscopy
• Degree grantor/type: 明治大学
• Date Granted: 平成25年3月26日
• Date Granted (W3CDTF): 2013
• Dissertation Number: 甲第655号
• Degree Type: 博士(工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: jpn
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2013-A936
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 024618877; http://id.ndl.go.jp/bib/024618877
• Bibliographic Record Category (NDL): 213