博士論文

スピンコート膜を利用するUVナノインプリントリソグラフィにおける残膜厚均一化に関する研究

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スピンコート膜を利用するUVナノインプリントリソグラフィにおける残膜厚均一化に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2013-C38
Bibliographic ID of National Diet Library
024697960
Material type
博士論文
Author
鈴木健太 [著]
Publisher
[鈴木健太]
Publication date
[2013]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
日本大学,博士(工学)
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博士論文

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
スピン コートマク オ リヨウスル UV ナノインプリント リソグラフィ ニ オケル ザンマクアツ キンイツカ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
鈴木健太 [著]
Author Heading
鈴木, 健太 スズキ, ケンタ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
[2013]
Publication Date (W3CDTF)
2013
Extent
1冊
Degree grantor/type
日本大学