Electrochemical micromachining of silicon-based materials using fine needle electrodes

• Material Type: 博士論文
• Title: Electrochemical micromachining of silicon-based materials using fine needle electrodes
• Author/Editor: Tomohiko Sugita [著]
• Author Heading: 杉田, 智彦 スギタ, トモヒコ
• Publication, Distribution, etc.: [Tomohiko Sugita]
• Publication Date: [2013]
• Publication Date (W3CDTF): 2013
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 微細電極を用いたシリコン系材料の電気化学的微細加工 ビサイ デンキョク オ モチイタ シリコンケイ ザイリョウ ノ デンキ カガクテキ ビサイ カコウ
• Degree grantor/type: 大阪大学
• Date Granted: 平成25年3月25日
• Date Granted (W3CDTF): 2013
• Dissertation Number: 甲第16305号
• Degree Type: 博士(工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2013-C718
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 024703768; http://id.ndl.go.jp/bib/024703768
• Bibliographic Record Category (NDL): 213