MEMS技術を応用した水晶高感度傾斜角センサの最適設計・製造プロセスの研究

Notes on use

Search by Bookstore

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Material Type: 博士論文
Title: MEMS技術を応用した水晶高感度傾斜角センサの最適設計・製造プロセスの研究
Title Transcription: MEMS ギジュツオオウヨウシタスイショウコウカンドケイシャカクセンサノサイテキセッケイセイゾウプロセスノケンキュウ
Author/Editor: 幸坂扶佐夫 [著]
Author Heading: 幸坂, 扶佐夫コウサカ, フサオ
Publication, Distribution, etc.: [幸坂扶佐夫]
Publication Date: [2013]
Publication Date (W3CDTF): 2013
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 早稲田大学
Date Granted: 平成25年2月18日
Date Granted (W3CDTF): 2013
Dissertation Number: 甲第3790号
Degree Type: 博士(工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2013-D425
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 024801716
http://id.ndl.go.jp/bib/024801716
Bibliographic Record Category (NDL): 213