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博士論文

微細CMOS実現に向けた高誘電率ゲート絶縁膜に関する研究

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微細CMOS実現に向けた高誘電率ゲート絶縁膜に関する研究

Call No. (NDL)
UT51-2013-G61
Bibliographic ID of National Diet Library
024914078
Material type
博士論文
Author
岩本邦彦 [著]
Publisher
[岩本邦彦]
Publication date
[2008]
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
1冊
Name of awarding university/degree
広島大学,博士(工学)
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Note (General):

博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
博士論文
Title Transcription
ビサイ CMOS ジツゲン ニ ムケタ コウユウデンリツ ゲート ゼツエンマク ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
岩本邦彦 [著]
Author Heading
岩本, 邦彦 イワモト, クニヒコ
Publication, Distribution, etc.
Publication Date
[2008]
Publication Date (W3CDTF)
2008
Extent
1冊
Alternative Title
Study of the high-k gate dielectrics for the ultra-scaled CMOSFETs