In-Ga-Zn酸化物の半導体特性と信頼性に及ぼすTFTプロセス条件および配線材料の影響

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Material Type: 博士論文
Title: In-Ga-Zn酸化物の半導体特性と信頼性に及ぼすTFTプロセス条件および配線材料の影響
Title Transcription: In-Ga-Zn サンカブツノハンドウタイトクセイトシンライセイニオヨボス TFT プロセスジョウケンオヨビハイセンザイリョウノエイキョウ
Author/Editor: 三木綾 [著]
Author Heading: 三木, 綾ミキ, アヤ
Publication, Distribution, etc.: [三木綾]
Publication Date: [2013]
Publication Date (W3CDTF): 2013
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 東北大学
Date Granted: 平成25年3月27日
Date Granted (W3CDTF): 2013
Dissertation Number: 甲第15253号
Degree Type: 博士(工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2013-H456
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 024931557
http://id.ndl.go.jp/bib/024931557
Bibliographic Record Category (NDL): 213