Self-calibration and applications of diffraction gratings for precision nanometrology

• Material Type: 博士論文
• Title: Self-calibration and applications of diffraction gratings for precision nanometrology
• Author/Editor: Woojae Kim [著]
• Author Heading: 金, 千載 キム, ウジェ
• Publication, Distribution, etc.: [Woojae Kim]
• Publication Date: [2013]
• Publication Date (W3CDTF): 2013
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 精密ナノ計測用回折格子の自律校正と応用 セイミツ ナノ ケイソクヨウ カイセツ コウシ ノ ジリツ コウセイ ト オウヨウ
• Degree grantor/type: 東北大学
• Date Granted: 平成25年3月27日
• Date Granted (W3CDTF): 2013
• Dissertation Number: 甲第15183号
• Degree Type: 博士(工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2013-H386
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 024934262; http://id.ndl.go.jp/bib/024934262
• Bibliographic Record Category (NDL): 213