高信頼性・低消費電力の微細MOSFETに関する成膜技術の研究

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Material Type: 博士論文
Title: 高信頼性・低消費電力の微細MOSFETに関する成膜技術の研究
Title Transcription: コウシンライセイテイショウヒデンリョクノビサイ MOSFET ニカンスルセイマクギジュツノケンキュウ
Author/Editor: 山口直 [著]
Author Heading: 山口, 直ヤマグチ, タダシ
Publication, Distribution, etc.: [山口直]
Publication Date: [2012]
Publication Date (W3CDTF): 2012
Extent: 1冊
Alternative Title: Film formation technology for highly reliable, low-power-consumption scaled MOSFETs
Degree grantor/type: 東京工業大学
Date Granted: 平成24年9月30日
Date Granted (W3CDTF): 2012
Dissertation Number: 乙第4076号
Degree Type: 博士(工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2013-K587
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 025023641
http://id.ndl.go.jp/bib/025023641
Bibliographic Record Category (NDL): 213