高密度集積回路プロセスにおける低損傷ドライエッチングおよびプラズマドーピング技術の研究

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Material Type: 博士論文
Title: 高密度集積回路プロセスにおける低損傷ドライエッチングおよびプラズマドーピング技術の研究
Title Transcription: コウミツドシュウセキカイロプロセスニオケルテイソンショウドライエッチングオヨビプラズマドーピングギジュツノケンキュウ
Author/Editor: 久保田正文 [著]
Author Heading: 久保田, 正文クボタ, マサフミ
Publication, Distribution, etc.: [久保田正文]
Publication Date: [2013]
Publication Date (W3CDTF): 2013
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 筑波大学
Date Granted: 平成25年3月25日
Date Granted (W3CDTF): 2013
Dissertation Number: 甲第6416号
Degree Type: 博士(工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2013-L140
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 025034913
http://id.ndl.go.jp/bib/025034913
Bibliographic Record Category (NDL): 213