エッチングプロセスにおける気相および表面反応の研究

エッチングプロセスにおける気相および表面反応の研究

Call No. (NDL): UT51-2013-L142
Bibliographic ID of National Diet Library: 025034935

Material type: 博士論文

Author: 田中潤一 [著]

Publisher: [田中潤一]

Publication date: [2013]

Material Format: Paper

Capacity, size, etc.: 1冊

Name of awarding university/degree: 筑波大学,博士(工学)

Notes on use

Note (General)：: 博士論文

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type: 博士論文
Title: エッチングプロセスにおける気相および表面反応の研究
Title Transcription: エッチングプロセスニオケルキソウオヨビヒョウメンハンノウノケンキュウ
Author/Editor: 田中潤一 [著]
Author Heading: 田中, 潤一タナカ, ジュンイチ
Publication, Distribution, etc.: [田中潤一]
Publication Date: [2013]
Publication Date (W3CDTF): 2013
Extent: 1冊
Degree grantor/type: 筑波大学
Date Granted: 平成25年3月25日
Date Granted (W3CDTF): 2013
Dissertation Number: 甲第6418号
Degree Type: 博士(工学)
Note (Dissertation): 博士論文
Place of Publication (Country Code): JP
Text Language Code: jpn
NDLC: UT51
Target Audience: 一般
Note (General): 博士論文
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: UT51-2013-L142
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 025034935
http://id.ndl.go.jp/bib/025034935
Bibliographic Record Category (NDL): 213