Reaction pathway analysis for dislocation nucleations in Cu and 3C-SiC : a case study on 3C-SiC wafer fabrication process

• Material Type: 博士論文
• Title: Reaction pathway analysis for dislocation nucleations in Cu and 3C-SiC : a case study on 3C-SiC wafer fabrication process
• Author/Editor: Yu Sun [著]
• Author Heading: 孫, 瑜 ソン, ユ
• Publication, Distribution, etc.: [Yu Sun]
• Publication Date: [2012]
• Publication Date (W3CDTF): 2012
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 銅と3C-SiCにおける転位生成の反応経路解析 : 3C-SiCのウエーハ製造プロセスにおけるケーススタディ ドウ ト 3C-SiC ニ オケル テンイ セイセイ ノ ハンノウ ケイロ カイセキ : 3C-SiC ノ ウエーハ セイゾウ プロセス ニ オケル ケース スタディ
• Degree grantor/type: 東京大学
• Date Granted: 平成24年9月27日
• Date Granted (W3CDTF): 2012
• Dissertation Number: 甲第28658号
• Degree Type: 博士(工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2013-M73
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 025094489; http://id.ndl.go.jp/bib/025094489
• Bibliographic Record Category (NDL): 213