Thermal conductivity pressure sensors on the basis of ultra-fine silicon structures

• Material Type: 博士論文
• Title: Thermal conductivity pressure sensors on the basis of ultra-fine silicon structures
• Author/Editor: Kubota Masanori [著]
• Author Heading: 久保田, 雅則 クボタ, マサノリ
• Publication, Distribution, etc.: [Kubota Masanori]
• Publication Date: [2012]
• Publication Date (W3CDTF): 2012
• Extent: 1冊
• Alternative Title: 超微細シリコン立体構造を用いた熱伝導圧力センサ チョウビサイ シリコン リッタイ コウゾウ オ モチイタ ネツ デンドウ アツリョク センサ
• Degree grantor/type: 東京大学
• Date Granted: 平成24年9月13日
• Date Granted (W3CDTF): 2012
• Dissertation Number: 乙第17725号
• Degree Type: 博士(工学)
• Note (Dissertation): 博士論文
• Place of Publication (Country Code): JP
• Text Language Code: eng
• NDLC: UT51
• Target Audience: 一般
• Note (General): 博士論文
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: UT51-2013-N110
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 025150828; http://id.ndl.go.jp/bib/025150828
• Bibliographic Record Category (NDL): 213